GB/T 6620-1995硅片翹曲度非接觸式測試方法

【 標準編號 】 GB/T 6620-1995
【 標準名稱 】 硅片翹曲度非接觸式測試方法  
【 英文名稱 】 Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數 】 6P
【 替代標準 】 6620-86
【 采用關系 】 ASTM F 657-1991,EQV
【 起草單位 】 洛陽單晶硅廠
【 起 草 人 】 王從贊; 郭瑾; 袁景怡