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GB/T 14140.2-1993 硅片直徑測量方法千分尺法

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jinyibu 發(fā)表于 2009-1-16 12:23:42 | 只看該作者回帖獎勵

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【標準編號】 GB/T 14140.2-1993
【標準名稱】硅片直徑測量方法千分尺法
【英文名稱】 Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method
【發(fā)布單位】 SBTS
【批準單位】國家技術(shù)監(jiān)督局
【發(fā)布日期】 1993-2-6
【實施日期】 1993-10-1
【【所屬標準】 GB
【開本頁數(shù) 】 3P
【引用標準】 GB 12962; GB 2828

千分尺, 測量方法, 直徑, 硅片

bz001011211.pdf

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