GB/T 6616-1995半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層 電阻測定

【 標準編號 】 GB/T 6616-1995
【 標準名稱 】 半導體硅片電阻率及硅薄膜薄層 電阻測定 非接觸渦流法  
【 英文名稱 】 Test method for measuring resistivity of semiconductor silicon or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gage
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數 】 5P
【 替代標準 】 GB 6616-1986
【 采用關系 】 ASTM F673-1990,EQV
【 起草單位 】 上海有色金屬研究所