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GB/T 6617-1995硅片電阻率測定 擴展電阻探針法

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woshi_tjy 發表于 2008-12-31 12:26:11 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 GB/T 6617-1995
【 標準名稱 】 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法  
【 英文名稱 】 Test method for measuring resistivity of silicon wafers using spreading resistance probe
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數 】 6P
【 替代標準 】 GB 6617-1986
【 引用標準 】 GB 1550; GB 1555 etc.
【 采用關系 】 ASTM F525-1988,EQV
【 起草單位 】 上海有色金屬研究所

bz001015862.pdf

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