GB/T 6617-1995硅片電阻率測定 擴(kuò)展電阻探針法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 6617-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅片電阻率測定 擴(kuò)展電阻探針法  
【 英文名稱 】 Test method for measuring resistivity of silicon wafers using spreading resistance probe
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實(shí)施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 6617-1986
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 1550; GB 1555 etc.
【 采用關(guān)系 】 ASTM F525-1988,EQV
【 起草單位 】 上海有色金屬研究所