GB/T 14140.1-1993 硅片直徑測量方法 光學投影法

【 標準編號 】 GB/T 14140.1-1993
【 標準名稱 】 硅片直徑測量方法 光學投影法  
【 英文名稱 】 Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 4P
【 引用標準 】 GB 12962; GB 2828
【 采用關系 】 ASTM F613-1982,EQV