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GB/T 14140.1-1993 硅片直徑測(cè)量方法 光學(xué)投影法

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jinyibu 發(fā)表于 2009-1-16 12:24:59 | 只看該作者 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 14140.1-1993
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅片直徑測(cè)量方法 光學(xué)投影法  
【 英文名稱 】 Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-2-6
【 實(shí)施日期 】 1993-10-1
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 4P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 12962; GB 2828
【 采用關(guān)系 】 ASTM F613-1982,EQV

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