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GB/T 14140.1-1993 硅片直徑測量方法 光學投影法

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jinyibu 發表于 2009-1-16 12:24:59 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 GB/T 14140.1-1993
【 標準名稱 】 硅片直徑測量方法 光學投影法  
【 英文名稱 】 Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 4P
【 引用標準 】 GB 12962; GB 2828
【 采用關系 】 ASTM F613-1982,EQV

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