GB/T 6618-1995硅片厚度和總厚度變化測試方法

【 標準編號 】 GB/T 6618-1995
【 標準名稱 】 硅片厚度和總厚度變化測試方法  
【 英文名稱 】 Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數 】 7P
【 替代標準 】 GB 6618-1986
【 引用標準 】 GB 12964; GB 12965
【 采用關系 】 ASTM F 533-1990,EQV
【 起草單位 】 北京有色金屬研究總院