GB/T 14143-1993 硅片間隙氧含量紅外吸收測量方法

【 標準編號 】 GB/T 14143-1993
【 標準名稱 】 300-900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測量方法  
【 英文名稱 】 300-900μm Silicon slices-Measuring of interstitial oxygen content-Infrared absorption method
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 4P
【 采用關系 】 ASTM F121-1983,REF