GB/T 13388-1992硅片參考面結晶學取向X射線測量方法

【 標準編號 】 GB/T 13388-1992
【 標準名稱 】 硅片參考面結晶學取向X射線測量方法
【 英文名稱 】 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1992-2-19
【 實施日期 】 1992-10-1
【英文關鍵詞】 X射線; 性能測量
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 4P
【 采用關系 】 ASTM F547-1933,EQV