GB/T 14139-1993 硅外延片

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 14139-93
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng) 】 硅外延片  
【 英文名稱(chēng) 】 Silicon epitaxial wafers
【 發(fā)布單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-2-6
【 實(shí)施日期 】 1993-10-1
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 8P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 2828; GB 6624; GB 12962; GB 12964; GB/T 13389; GB/T 14142; GB/T 14145; GB/T 14146; GB/T 14264; YS/T 23; YS/T 24; YS/T 28
【 采用關(guān)系 】 SEMI S2,REF
【 起草單位 】 上海第二冶煉廠
【 起 草 人 】 嚴(yán)世權(quán); 黃玉光