GB/T 14145-1993 硅外延層堆垛層錯密度測定干涉相襯顯微鏡法

【 標準編號 】 GB/T 14145-1993
【 標準名稱 】 硅外延層堆垛層錯密度測定干涉相襯顯微鏡法  
【 英文名稱 】 Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-coutrast microscopy
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 3P
【 采用關系 】 ASTM F522-1984,REF