GB/T 14146-1993 硅外延層載流子濃度測定和探針電容--電壓法

【 標準編號 】 GB/T 14146-1993
【 標準名稱 】 硅外延層載流子濃度測定和探針電容--電壓法  
【 英文名稱 】 Silicon epitaxial layers-Determination of carrier concentration-Mercury probe valtage-capacitance method
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 4P
【 采用關系 】 DIN 50439-1982,REF