GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質量光反射測試方法

【 標準編號 】 GB/T 17169-1997
【 標準名稱 】 硅拋光片和外延片表面質量光反射測試方法  
【 英文名稱 】 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1997-12-22
【 實施日期 】 1998-8-1
【 開本頁數 】 9P
【 引用標準 】 GB/T 6624-1998; GB/T 14142-93; GB/T 14262-93
【 起草單位 】 南開大學; 天津市半導體材料廠
【 起 草 人 】 李增發; 王宏杰; 張福禎; 顏彩蘩; 張光寅; 鄧江東