GB/T 14847-1993 重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度紅外反射測法

【 標準編號 】 GB/T 14847-1993
【 標準名稱 】 重摻雜襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測量方法  
【 英文名稱 】 Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-12-24
【 實施日期 】 1994-9-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 6P
【 采用關系 】 ASTM F95-1989,EQV