干涉顯微鏡不確定度的分析評定

干涉顯微鏡不確定度的分析評定
  
[摘要]  
本文對干涉顯微鏡在進行校準/測試工作中,分析計算了不確定度的來源和分量,以及合成標準不確定度和擴展不確定度,并對干涉顯微鏡進行了重復性、穩定性考核和不確定度的驗證,表明干涉顯微鏡能按檢定系統表和檢定規程開展量值傳遞.
[關鍵詞]  
干涉顯微鏡,不確定度,重復性,穩定性,光學儀器  
[作者]  
黃健,中國空氣動力研究與發展中心校準/測試實驗室
[會議名稱]  
西南地區自動化、儀器儀表及電控技術學術年會  
[會議時間]  
20021031
[會議地點]  
四川綿陽
[主辦單位]  
中國自動化學會  
[會議分類]  


[母體文獻]  
西南地區自動化、儀器儀表及電控技術學術年會論文集  
[出版單位]  
中國自動化學會  
[出版地]  
北京  
[出版時間]  
20021031  
[頁碼]  
12-13
[注釋項]  
呂慶新
[分類]  


[密級]  

[館藏號]  
H046945