干涉顯微鏡不確定度的分析評定
[摘要]
本文對干涉顯微鏡在進行校準/測試工作中,分析計算了不確定度的來源和分量,以及合成標準不確定度和擴展不確定度,并對干涉顯微鏡進行了重復性、穩定性考核和不確定度的驗證,表明干涉顯微鏡能按檢定系統表和檢定規程開展量值傳遞.
[關鍵詞]
干涉顯微鏡,不確定度,重復性,穩定性,光學儀器
[作者]
黃健,中國空氣動力研究與發展中心校準/測試實驗室
[會議名稱]
西南地區自動化、儀器儀表及電控技術學術年會
[會議時間]
20021031
[會議地點]
四川綿陽
[主辦單位]
中國自動化學會
[會議分類]
[母體文獻]
西南地區自動化、儀器儀表及電控技術學術年會論文集
[出版單位]
中國自動化學會
[出版地]
北京
[出版時間]
20021031
[頁碼]
12-13
[注釋項]
呂慶新
[分類]
[密級]
[館藏號]
H046945 |
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干涉顯微鏡不確定度的分析評定.pdf
2008-1-22 19:35 上傳
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