干涉顯微鏡不確定度的分析評(píng)定

干涉顯微鏡不確定度的分析評(píng)定
  
[摘要]  
本文對(duì)干涉顯微鏡在進(jìn)行校準(zhǔn)/測(cè)試工作中,分析計(jì)算了不確定度的來(lái)源和分量,以及合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度和擴(kuò)展不確定度,并對(duì)干涉顯微鏡進(jìn)行了重復(fù)性、穩(wěn)定性考核和不確定度的驗(yàn)證,表明干涉顯微鏡能按檢定系統(tǒng)表和檢定規(guī)程開(kāi)展量值傳遞.
[關(guān)鍵詞]  
干涉顯微鏡,不確定度,重復(fù)性,穩(wěn)定性,光學(xué)儀器  
[作者]  
黃健,中國(guó)空氣動(dòng)力研究與發(fā)展中心校準(zhǔn)/測(cè)試實(shí)驗(yàn)室
[會(huì)議名稱]  
西南地區(qū)自動(dòng)化、儀器儀表及電控技術(shù)學(xué)術(shù)年會(huì)  
[會(huì)議時(shí)間]  
20021031
[會(huì)議地點(diǎn)]  
四川綿陽(yáng)
[主辦單位]  
中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)  
[會(huì)議分類]  


[母體文獻(xiàn)]  
西南地區(qū)自動(dòng)化、儀器儀表及電控技術(shù)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集  
[出版單位]  
中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)  
[出版地]  
北京  
[出版時(shí)間]  
20021031  
[頁(yè)碼]  
12-13
[注釋項(xiàng)]  
呂慶新
[分類]  


[密級(jí)]  

[館藏號(hào)]  
H046945