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GB/T 6621-1995硅拋光片表面平整度測試方法

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woshi_tjy 發(fā)表于 2008-12-31 12:23:23 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 6621-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅拋光片表面平整度測試方法  
【 英文名稱 】 Test methods for surface flatness of silicon polished slices
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實(shí)施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 6621-1986
【 采用關(guān)系 】 ASTM F 775-1988,EQV
【 起草單位 】 上海第二冶煉廠

bz001015865.pdf

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