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GB/T 6621-1995硅拋光片表面平整度測試方法

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woshi_tjy 發表于 2008-12-31 12:23:23 | 只看該作者回帖獎勵

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【標準編號】 GB/T 6621-1995
【標準名稱】硅拋光片表面平整度測試方法
【英文名稱】 Test methods for surface flatness of silicon polished slices
【發布單位】 SBTS
【批準單位】國家技術監督局
【發布日期】 1995-4-18
【實施日期】 1995-12-1
【開本頁數】 9P
【替代標準】 GB 6621-1986
【采用關系】 ASTM F 775-1988,EQV
【起草單位】上海第二冶煉廠

平整度, 拋光片

bz001015865.pdf

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