GB/T 4058-1995 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法

【 標準編號 】 GB/T 4058-1995
【 標準名稱 】 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法  
【 英文名稱 】 Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數 】 10P
【 替代標準 】 GB 4058-83; GB 6622-86; GB 6623-86
【 引用標準 】 GB/T 1554; YS/T 209
【 采用關系 】 ,
【 起草單位 】 峨眉半導體材料廠
【 起 草 人 】 吳道榮; 王向東; 胡政; 劉文魁