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SJ/T 31116-94PLA-501F型光刻機完好要求和檢查評定方法

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woshi_tjy 發表于 2008-7-24 16:34:22 | 只看該作者回帖獎勵

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【標準編號】 SJ/T 31116-94
【標準名稱】 PLA-501F型光刻機完好要求和檢查評定方法
【發布單位】 CSIC-SJ
【批準單位】中華人民共和國電子工業部
【發布日期】 1994-4-15
【實施日期】 1994-6-1
【開本頁數】 2P
【起草單位】中國華晶電子集團公司; 國營南光機器廠
【起草人】王浩清; 華一新; 顧軍建; 吳正偉; 王洪波

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