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[工程參量] 平面平晶的使用方法

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1#
rybmsi 發(fā)表于 2008-6-12 17:05:15 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
我們公司別的部門買了幾個平面平晶,說是要檢查平面度,請教我們怎么使用,我也是只知道些皮毛,好像是說干涉條紋越少越好,別的就一知半解了,請教有什么可以參考的資料嗎?
2#
duomeiti 發(fā)表于 2008-6-12 21:53:59 | 只看該作者

轉(zhuǎn):

測量時﹐把平晶放在被測表面上﹐且與被測表面形成一個很小的楔角  ﹐以單色光源照射時會產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測表面﹐且平晶與被測表面間的間隙很小﹐則由平晶測量面P 反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P 發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下﹐則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直﹐相互平行﹐且分布均勻﹐則表示被測表面的平面度很好﹔如干涉條紋彎曲﹐則表示平面度不好。其誤差值為 ﹐式中 為兩干涉條紋間距離﹐ 為干涉條紋的彎曲值﹐ 為光波波長﹐白光波長一般以0.6微米計算。
3#
YAH 發(fā)表于 2008-6-12 22:01:28 | 只看該作者
當(dāng)干涉條紋平直、互相平行,且又均勻分布時,則說明其平面度好;當(dāng)干涉條紋不規(guī)則、且無規(guī)律時,則說明其平面度不好。
4#
冰雪 發(fā)表于 2008-6-13 06:03:22 | 只看該作者
平面平晶的干涉條紋平直則表示平面好.如果是彩色光圈一圈則是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈則用所看到的圈數(shù)乘以0.3則是它的平面度.如是弧形則表示是0.3以下.
5#
nana 發(fā)表于 2008-6-13 09:31:27 | 只看該作者
最簡單的方法,在測量時讀出明暗條紋的條紋數(shù)(明或暗,一般讀出暗條紋的個數(shù)即可)乘以0.3,結(jié)果即是平面度。(單位為um)
6#
 樓主| rybmsi 發(fā)表于 2008-6-13 09:35:33 | 只看該作者
原帖由 duomeiti 于 2008-6-12 21:53 發(fā)表
測量時﹐把平晶放在被測表面上﹐且與被測表面形成一個很小的楔角  ﹐以單色光源照射時會產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測表面﹐且平晶與被測表面間的間隙很小﹐則由平晶測量面P 反射的光 ...

單色光源是指什么????
平時的手電筒行不?
7#
 樓主| rybmsi 發(fā)表于 2008-6-13 09:36:16 | 只看該作者
原帖由 nana 于 2008-6-13 09:31 發(fā)表
最簡單的方法,在測量時讀出明暗條紋的條紋數(shù)(明或暗,一般讀出暗條紋的個數(shù)即可)乘以0.3,結(jié)果即是平面度。(單位為um)

這個乘以0.3的結(jié)論是怎么得來的呀,謝謝!
8#
duomeiti 發(fā)表于 2008-6-13 21:37:43 | 只看該作者

回復(fù) 7# 的帖子

白光波長一般以0.6um,(λ/2)=0.3um。
9#
zjauto 發(fā)表于 2008-6-17 21:26:19 | 只看該作者
提示: 作者被禁止或刪除 內(nèi)容自動屏蔽
10#
nana 發(fā)表于 2008-6-18 09:47:16 | 只看該作者

回復(fù) 9# 的帖子

外量爪用刀口尺測量,內(nèi)量爪用千分尺測量。
11#
souleater 發(fā)表于 2008-6-18 15:55:19 | 只看該作者
原帖由 rybmsi 于 2008-6-13 09:35 發(fā)表

單色光源是指什么????
平時的手電筒行不?

單色光源一般情況下就是指日常工作光源,像白色熒光燈之類!
12#
duomeiti 發(fā)表于 2008-6-21 15:45:12 | 只看該作者
原帖由 zjauto 于 2008-6-17 21:26 發(fā)表
游伴卡尺的測量面平面度用什么檢定? 平晶還是刀口尺?

游標(biāo)卡尺的測量面平面度用刀口尺檢。見:JJG 30-2002 通用卡尺檢定規(guī)程
13#
houston 發(fā)表于 2008-6-21 21:11:40 | 只看該作者
你們公司平晶如果沒有等厚干涉儀需要三個相互檢定才行,
14#
jlltzc 發(fā)表于 2008-6-27 00:04:48 | 只看該作者
引用一本書上的內(nèi)容:
1)根據(jù)干涉條紋計算平面度誤差
測量時若出現(xiàn)向一個方向彎曲的干涉條紋,如圖所示,調(diào)整平晶位置,使之出現(xiàn)3~5條干涉帶,則平面度誤差的近似值為:
f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量,ω為干涉帶間距
但是如何精確確定ν和ω的值,我也很迷惑!
2)根據(jù)光圈計算平面度誤差
若被測平面凹或凸,則會出現(xiàn)環(huán)形干涉帶,調(diào)整平晶的位置,使干涉帶數(shù)為最少,則平面度誤差的近似值為:
f=(λ/2) ×n
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm;n為平晶直徑方向上的光圈數(shù)

示意圖如下


[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:55 編輯 ]

評分

參與人數(shù) 1金幣 +3 收起 理由
duomeiti + 3 謝謝提供

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15#
herringhsu 發(fā)表于 2008-7-6 20:07:56 | 只看該作者
提示: 作者被禁止或刪除 內(nèi)容自動屏蔽
16#
xqbljc 發(fā)表于 2009-9-13 18:24:20 | 只看該作者
最簡單的方法,在測量時讀出明暗條紋的條紋數(shù)(明或暗,一般讀出暗條紋的個數(shù)即可)乘以0.3,結(jié)果即是平面度。(單位為um)
nana 發(fā)表于 2008-6-13 09:31
搞幾何量計量的人不應(yīng)出現(xiàn)這樣的錯誤:微米應(yīng)寫作μm,而不應(yīng)寫作um,希臘字母μ是詞頭,它表示對長度的主單位米(m)的負6此方,而英語u不是詞頭,表達的意思也完全不一樣,所以um是一個錯誤的單位,說明此事決不是吹毛求疵。
17#
鐘智 發(fā)表于 2009-10-31 14:49:53 | 只看該作者
檢查千分尺的是一圈一圈的,圈數(shù)越少越好嗎?楔角是什么意思啊?
18#
kellyy 發(fā)表于 2009-10-31 22:48:51 | 只看該作者
檢查千分尺的是一圈一圈的,圈數(shù)越少越好嗎?楔角是什么意思啊?
鐘智 發(fā)表于 2009-10-31 14:49
當(dāng)然是圈數(shù)越少越好;楔角是指平晶與千分尺測砧之間所保持的角度(平晶并不是平壓在測砧上時),就像14#回帖中左邊那幅圖一樣。
19#
dalian139 發(fā)表于 2017-2-16 13:48:44 | 只看該作者
收獲很大啊。只是沒有看到圖阿?
20#
94541324 發(fā)表于 2017-6-26 11:06:09 | 只看該作者
繼續(xù)學(xué)習(xí)中
21#
計量新力量 發(fā)表于 2019-6-6 09:55:27 來自手機 | 只看該作者
繼續(xù)學(xué)習(xí)中,有一點遺憾的是圖片打不開
22#
計量-魁 發(fā)表于 2019-12-7 09:19:00 | 只看該作者
挺好,學(xué)習(xí)了!
23#
shenzhu 發(fā)表于 2019-12-23 10:44:43 | 只看該作者
來學(xué)習(xí),受教了
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