微納米三坐標(biāo)測量機(jī)的高精度恒溫箱研制

作者：馮建1,李瑞君1,何亞雄1,范光照1,2
1.合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院,安徽 合肥 230009;
2. 臺(tái)灣大學(xué)機(jī)械工程學(xué)系,  臺(tái)北  10617
摘要：針對恒溫室控制精度低和分離式恒溫箱因振動(dòng)而無法滿足微納米三坐標(biāo)測量機(jī)需要的問題,研制了一套自然對流式高精度恒溫箱。用定制尺寸的中空亞克力板和輕便型超低導(dǎo)熱系數(shù)真空絕熱板制成絕熱箱體。以儀器測量點(diǎn)溫度作為溫度控制反饋值,均勻位于恒溫箱頂部的9個(gè)半導(dǎo)體制冷片對其周圍空氣進(jìn)行制冷,箱內(nèi)冷空氣均勻向下流動(dòng),與向上流動(dòng)的熱空氣進(jìn)行熱交換。采用LabVIEW與MATLAB混合編寫高精度溫控程序。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:設(shè)定值為20 ℃時(shí)的穩(wěn)態(tài)誤差為0.003 2 ℃,穩(wěn)態(tài)時(shí)溫度波動(dòng)小于0.03 ℃,優(yōu)于一級(jí)恒溫室。新型恒溫箱具有成本低、能耗小和無振動(dòng)干擾等優(yōu)點(diǎn)。