平晶平面度如何計(jì)算？

JJG28-2000 附錄D，25頁(yè)，說
"當(dāng)被檢工作面小于或等于100mm時(shí)，按下式計(jì)算平面度  △f=(d↑2/95)*f95  "
這時(shí)不需要測(cè)量條紋間距a和彎曲量b嗎？如何理解呢？

      對(duì)高精度的小平面，其平面度誤差通常用平晶測(cè)量，測(cè)量時(shí)，將平晶的工作面置于被測(cè)表面上，并稍作傾斜以形成一個(gè)很小的空氣楔，根據(jù)光波干涉原理，可看到光波干涉帶。當(dāng)干涉條紋呈現(xiàn)相互平行且為直的明、暗條紋時(shí)，則平面度誤差為零。改變平晶與實(shí)際表面的夾角，干涉條紋之間的距離將產(chǎn)生變化，空氣楔角增大，干涉條紋變密；反之，干涉條紋變疏。當(dāng)平晶與被測(cè)實(shí)際表面形成封閉干涉條紋時(shí)，平面度誤差為干涉條紋數(shù)乘以光波波長(zhǎng)之半，若干涉條紋為不封閉的彎曲形狀，平面度誤差f為干涉條紋彎曲度與相鄰兩條紋間距之比（a/b）,再乘以光波波長(zhǎng)之半，即f=a/b×(λ/2)。

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2007-8-26 18:47 編輯 ]

你沒有仔細(xì)看規(guī)程。這里說的是"當(dāng)被檢工作平晶直徑于或等于100mm時(shí)，應(yīng)按下式計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)平晶在該區(qū)域的平面度”。目前各單位用的等厚干涉儀多是北京計(jì)量?jī)x器廠出的，標(biāo)準(zhǔn)平晶直徑150mm，檢定證書會(huì)給兩個(gè)平面度值，全范圍的和D96（也就是中心2/3直徑）的平面度。當(dāng)被檢平晶直徑等于100mm時(shí)，應(yīng)該用D96平面度值，當(dāng)被檢平晶直徑小于100mm時(shí)，要按規(guī)程D.2公式計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)平晶在該區(qū)域的平面度，實(shí)際就是計(jì)算修整量。

還有一點(diǎn)需要注意，就是規(guī)程上的公式是有印刷錯(cuò)誤

估算出來準(zhǔn)確嗎？不是太好理解。