GB/T 1554-1995 硅晶體完整性化學(xué)擇優(yōu)腐蝕檢驗方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 1554-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅晶體完整性化學(xué)擇優(yōu)腐蝕檢驗方法 
【 英文名稱 】 Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數(shù) 】 11P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 1554-79; GB 4057-83
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 4058; YS/T 209
【 采用關(guān)系 】 ASTM F47-1988,EQV
【 起草單位 】 峨嵋半導(dǎo)體材料廠
【 起 草 人 】 曹宗瑞; 吳道榮; 陳永桐; 劉文魁; 王鴻高