【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 16523-1996 【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范 【 英文名稱 】 Specification for round quartz photomask substrates 【 發(fā)布單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局 【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局 【 發(fā)布日期 】 1996-9-9 【 實(shí)施日期 】 1997-5-1 【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 9P 【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7238-87; GB 9622.2-88 【 采用關(guān)系 】 EQV SEMI P4-92 【 起草單位 】 長(zhǎng)沙韶光微電子總公司; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所 【 起 草 人 】 談仁良; 吳保華; 王亦林; 韓艷芬
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2008-12-22 18:22 上傳
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