GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范

【 標準編號 】 GB/T 16523-1996
【 標準名稱 】 圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范  
【 英文名稱 】 Specification for round quartz photomask substrates
【 發(fā)布單位 】 國家技術監(jiān)督局
【 批準單位 】 國家技術監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1996-9-9
【 實施日期 】 1997-5-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 引用標準 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7238-87; GB 9622.2-88
【 采用關系 】 EQV SEMI P4-92
【 起草單位 】 長沙韶光微電子總公司; 電子工業(yè)部標準化研究所
【 起 草 人 】 談仁良; 吳保華; 王亦林; 韓艷芬