GB/T 12963-1996 硅多晶

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 12963-1996
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅多晶  
【 英文名稱 】 Polycrystalline silicon
【 發(fā)布單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1996-11-4
【 實(shí)施日期 】 1997-4-1
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 12963-91
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 1550; GB/T 1553; GB/T 1554-1995; GB 1558-83; GB 4059-83; GB 4060-83; GB 4061-83
【 采用關(guān)系 】 SEMI M16-1989,EQV
【 起草單位 】 峨眉半導(dǎo)體材料廠; 中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量研究所
【 起 草 人 】 王鴻高; 尹建華; 劉文魁; 吳福立