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YS/T 14-91異質外延層和硅多晶層厚度的測量方法

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woshi_tjy 發表于 2008-6-14 10:57:51 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 YS/T 14-91
【 標準名稱 】 異質外延層和硅多晶層厚度的測量方法  
【 發布單位 】 中國有色金屬工業總公司
【 批準單位 】 中國有色金屬工業總公司
【 發布日期 】 1991-4-26
【 實施日期 】 1992-6-1
【 開本頁數 】 4P
【 起草單位 】 上海有色金屬研究所
【 起 草 人 】 林敏敏; 林勝祖; 施海青

異質外延層和硅多晶層厚度的測量方法.pdf

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