GB/T 16596-1996 確定晶片坐標系規范

【 標準編號 】 GB/T 16596-1996
【 標準名稱 】 確定晶片坐標系規范  
【 英文名稱 】 Specification for establishing a wafer coordinate system
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1996-11-4
【 實施日期 】 1997-4-1
【 開本頁數 】 5P
【 引用標準 】 GB/T 12964-1996; GB/T 16595-1996; SEMI E5-92; SEMI M1-94; SEMI M12-92; SEMI M13-88
【 采用關系 】 SEMI M20-1992,EQV
【 起草單位 】 中國有色金屬工業總公司標準計量研究所
【 起 草 人 】 吳福立