GB/T 16596-1996 確定晶片坐標(biāo)系規(guī)范

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 16596-1996
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 確定晶片坐標(biāo)系規(guī)范  
【 英文名稱 】 Specification for establishing a wafer coordinate system
【 發(fā)布單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1996-11-4
【 實(shí)施日期 】 1997-4-1
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 12964-1996; GB/T 16595-1996; SEMI E5-92; SEMI M1-94; SEMI M12-92; SEMI M13-88
【 采用關(guān)系 】 SEMI M20-1992,EQV
【 起草單位 】 中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量研究所
【 起 草 人 】 吳福立