GB/T 16879-1997 掩模曝光系統精密度和準確度的表示準則

【 標準編號 】 GB/T 16879-1997
【 標準名稱 】 掩模曝光系統精密度和準確度的表示準則  
【 英文名稱 】 Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1997-6-20
【 實施日期 】 1998-3-1
【 開本頁數 】 8P
【 引用標準 】 SJ/T 10152-91; SJ/T 10584-94
【 采用關系 】 IDT SEMI P21-92
【 起草單位 】 中國科學院微電子中心
【 起 草 人 】 陳寶欽; 陳森錦; 廖溫初