GB/T 16880-1997光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則

【 標準編號 】 GB/T 16880-1997
【 標準名稱 】 光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則  
【 英文名稱 】 Guidelines for photomask defect classification and size definition
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1997-6-20
【 實施日期 】 1998-3-1
【 開本頁數 】 6P
【 引用標準 】 SJ/T 10584-94
【 采用關系 】 IDT SEMI P22-93
【 起草單位 】 中國科學院微電子中心
【 起 草 人 】 陳寶欽; 陳森錦; 廖溫初