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SJ 2758-87同型外延層厚度的紅外干涉測試方法

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woshi_tjy 發表于 2008-8-9 19:14:30 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ 2758-87
【 標準名稱 】 同型外延層厚度的紅外干涉測試方法  
【 發布單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1987-2-10
【 實施日期 】 1987-7-1
【 開本頁數 】 11P
【 起草單位 】 電子工業部四十六所; 電子工業部標準化研究所

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