SJ 3247-89同型砷化鎵外延層厚度的紅外干涉測試方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ 3247-89
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 同型砷化鎵外延層厚度的紅外干涉測試方法  
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國機(jī)械電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1989-3-20
【 實(shí)施日期 】 1989-3-25
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 起草單位 】 機(jī)械電子工業(yè)部第四十六研究所
【 起 草 人 】 李光平; 何秀坤; 王琴; 鄭駒; 閻萍