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SJ 3247-89同型砷化鎵外延層厚度的紅外干涉測試方法

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woshi_tjy 發表于 2008-8-2 19:27:08 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ 3247-89
【 標準名稱 】 同型砷化鎵外延層厚度的紅外干涉測試方法  
【 批準單位 】 中華人民共和國機械電子工業部
【 發布日期 】 1989-3-20
【 實施日期 】 1989-3-25
【 開本頁數 】 5P
【 起草單位 】 機械電子工業部第四十六研究所
【 起 草 人 】 李光平; 何秀坤; 王琴; 鄭駒; 閻萍

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