SJ/T 11181-1998凈化涂膠臺(tái)通用規(guī)范

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 SJ/T 11181-1998
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 凈化涂膠臺(tái)通用規(guī)范  
【 英文名稱 】 General specification for resist-coating stage with purified room
【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1998-3-11
【 實(shí)施日期 】 1998-5-1
【 開本頁數(shù) 】 8P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 191-90; GB 2681-81; GB 2682-81; GB 3768-83; GB 5226-85; GB 6388-86; SJ/T 142-1996; SJ/T 10152-91; SJ/T 10386-93; SJ 20385-93
【 起草單位 】 電子工業(yè)部半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所
【 起 草 人 】 趙懷科; 黃燕