SJ/T 11181-1998凈化涂膠臺通用規范

【 標準編號 】 SJ/T 11181-1998
【 標準名稱 】 凈化涂膠臺通用規范  
【 英文名稱 】 General specification for resist-coating stage with purified room
【 發布單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1998-3-11
【 實施日期 】 1998-5-1
【 開本頁數 】 8P
【 引用標準 】 GB 191-90; GB 2681-81; GB 2682-81; GB 3768-83; GB 5226-85; GB 6388-86; SJ/T 142-1996; SJ/T 10152-91; SJ/T 10386-93; SJ 20385-93
【 起草單位 】 電子工業部半導體專用設備研究所
【 起 草 人 】 趙懷科; 黃燕