YS/T 15-91硅外延層和擴(kuò)散層厚度測定 磨角染色法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 YS/T 15-91
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅外延層和擴(kuò)散層厚度測定 磨角染色法  
【 發(fā)布單位 】 中國有色金屬工業(yè)總公司
【 批準(zhǔn)單位 】 中國有色金屬工業(yè)總公司
【 發(fā)布日期 】 1991-4-26
【 實(shí)施日期 】 1992-6-1
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 1550
【 起草單位 】 上海有色金屬研究所
【 起 草 人 】 張玉芬; 夏錦祿