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YS/T 23-1992硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法

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woshi_tjy 發表于 2008-6-14 10:51:13 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 YS/T 23-1992
【 標準名稱 】 硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法  
【 發布單位 】 CSIC-YS
【 批準單位 】 中國有色金屬工業總公司
【 發布日期 】 1992-3-9
【 實施日期 】 1993-1-1
【 開本頁數 】 3P
【 起草單位 】 上海市有色金屬總公司半導體材料廠

硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法.pdf

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