精密納米計量學

作者 [日]高偉著
出版社 國防工業出版社
出版時間 2022年4月 第1版
ISBN 9787118124668
定價 98.00

【目錄】
1測量表面坡度和傾斜運動的角度傳感器
1.1簡介；
1.2帶有象限光電二極管的角度傳感器；
1.3帶有光電二極管陣列的角度傳感器；
1.4帶有單元光電二極管的角度傳感器；
1.5小結；
1.6參考


2用于測量多軸傾斜運動的激光自準直儀
2.1引言；
2.2雙軸激光自準直儀；
2.3單鏡頭激光微自準直儀；
2.4三軸激光自準直儀；
2.5總結

3用于測量面內運動的表面編碼器
3.1引言；
3.2用于MDOF面內運動的表面編碼器；
3.3兩軸正弦網格表面編碼器的制造；
3.4表面編碼器在表面電機驅動平面階段的應用；
3.5總結；
3.6參考文獻


4用于測量平面內和平面外運動的光柵編器
4.1介紹；
4.2二自由度線性光柵編碼器；
4.3帶正弦網格的三軸光柵編碼器；
4.4矩形XY網格的三軸光柵編碼器；
4.5總結；
4.6參考文獻


5測量圓度的掃描多探針系統
5.1介紹；
5.2坡度傳感器方法；
5.3混合方法；
5.4總結；
5.5參考文獻


6測量直線度的掃描誤差分離系統
6.1簡介；
6.2具有自調零的三位移傳感器方法；
6.3機床滑塊的誤差分離方法；
6.4總結；
6.5參考


7微型非球面的測量的掃描微型手寫筆系統
7.1簡介；
7.2掃描錯誤動作補償；
7.3微型探針；
7.4微型非球面的小型測量儀器；
7.5總結；
7.6參考文獻


8用于微紋理表面的大面積掃描探針顯微鏡
8.1簡介；
8.2電容式傳感器補償掃描探針顯微鏡；
8.3線性編碼器補償掃描探針顯微鏡；
8.4螺旋掃描探針顯微鏡；
8.5總結；
8.6參考


9測量三維納米結構的自動對準掃描探針顯微鏡系統
9.1簡介；
9.2自動對準光學探針；
9.3自動對準AFM的儀器；
9.4小結；
9.5參考

10用于測量微小尺寸的掃描圖像傳感器系統
10.1介紹；
10.2微寬度測量的掃描區域圖像傳感器；
10.3微小半徑測量的掃描線圖像傳感器；
10.4總結；
10.5參考