光柵線位移測(cè)量裝置 (征求意見稿)

光柵線位移測(cè)量裝置 (征求意見稿)
光柵線位移測(cè)量裝置（系統(tǒng)）以刻線間距進(jìn)行長(zhǎng)度量值傳遞，其系統(tǒng)成基本原理如圖1，主要由長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)值的產(chǎn)生、探測(cè)、信號(hào)處理三部分組成，以光柵尺刻線間距（柵距）作為長(zhǎng)度量值的標(biāo)準(zhǔn)源值，通過(guò)“測(cè)頭”與“光柵尺”的相對(duì)位移掃描獲得與光柵線刻劃周期一致（或?yàn)楸稊?shù)關(guān)系）的周期電信號(hào)，信號(hào)處理系統(tǒng)對(duì)周期電信號(hào)進(jìn)行鑒相、倍頻、細(xì)分后進(jìn)行位移計(jì)算、誤差修正補(bǔ)償，最終輸出位移結(jié)果。
光柵線位移測(cè)量裝置（系統(tǒng)）具有多種類型劃分方法，按結(jié)構(gòu)可分為敞開式和封閉式，按型式分為帶參考零位和不帶參考零位，按照光柵柵線位置的探測(cè)原理可分為基于幾何影像莫爾條紋原理和基于衍射后進(jìn)行干涉測(cè)量的衍射光柵。