表面粗糙度國(guó)際比對(duì)自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究

卜祥鵬1張樹(shù)1,2皮磊1施玉書(shū)1
1. 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院2. 深圳中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院技術(shù)創(chuàng)新研究院
摘要：基于中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院的表面粗糙度基準(zhǔn)計(jì)量裝置，開(kāi)展了視覺(jué)定位系統(tǒng)、自動(dòng)操作系統(tǒng)和多自由度位移系統(tǒng)的研究，從而實(shí)現(xiàn)依據(jù)國(guó)際比對(duì)協(xié)議規(guī)定流程的自動(dòng)化測(cè)量。實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證表明：該系統(tǒng)可有效實(shí)現(xiàn)表面粗糙度的自動(dòng)化測(cè)量，滿足國(guó)際比對(duì)的要求。在對(duì)國(guó)際比對(duì)規(guī)定的表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)器的測(cè)量實(shí)驗(yàn)中，該系統(tǒng)的自動(dòng)定位測(cè)量的重復(fù)性為4.2 nm,相比于手動(dòng)定位測(cè)量提高了2.6倍，有效地減少了測(cè)量過(guò)程中引入的人為誤差。