求助！SEM標(biāo)片結(jié)果超過(guò)最大允許誤差

各位大佬好：
           我司送了一個(gè)SEM標(biāo)片，分別對(duì)100nm、1000nm的標(biāo)稱值做了檢測(cè)報(bào)告，結(jié)果得出100nm-100.1nm U95=4nm，1000nm-1013nm U95=11nm
我按照《掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》1um的最大允許誤差±1%，50nm-200nm最大允許誤差±3%。按照U95≤MPEV*1/3算出2個(gè)項(xiàng)目都超過(guò)最大允許誤差的1/3，并且1000nm的誤差值也超過(guò)最大允許誤差范圍。
          想問(wèn)下各位大佬，這個(gè)標(biāo)片我應(yīng)該怎么處理掉呢？是按照實(shí)測(cè)值正常用還是退貨，因?yàn)槭呛Ｍ獍l(fā)貨的，如果重新發(fā)又要耗費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間。