求助！SEM標片結果超過最大允許誤差

各位大佬好：
           我司送了一個SEM標片，分別對100nm、1000nm的標稱值做了檢測報告，結果得出100nm-100.1nm U95=4nm，1000nm-1013nm U95=11nm
我按照《掃描電子顯微鏡校準規(guī)范》1um的最大允許誤差±1%，50nm-200nm最大允許誤差±3%。按照U95≤MPEV*1/3算出2個項目都超過最大允許誤差的1/3，并且1000nm的誤差值也超過最大允許誤差范圍。
          想問下各位大佬，這個標片我應該怎么處理掉呢？是按照實測值正常用還是退貨，因為是海外發(fā)貨的，如果重新發(fā)又要耗費很長時間。