靜態電荷量測試儀校準源研制

焦海妮,王逸洲,李晶晶,孫文,張軍齊
北京東方計量測試研究所,北京100086
摘要 靜態電荷量標準采用精密程控電壓源和精密電容器輸出高準確度靜態電荷量,利用電壓負反饋進行自動調整,克服負載電容和輸出電壓對輸出電荷量的影響,實現靜態電荷量的穩恒輸出,可方便地檢定靜電計和電荷放大器。該靜態標準電荷源的穩恒特性比傳統的電荷源提高了5個數量級。該標準源靜態電荷量Qx范圍為200pC～2μC;允許誤差為0.1%Qx+0.1pC;等效源內電容為10-15F。