靜態(tài)電荷量測試儀校準(zhǔn)源研制

焦海妮,王逸洲,李晶晶,孫文,張軍齊
北京東方計量測試研究所,北京100086
摘要 靜態(tài)電荷量標(biāo)準(zhǔn)采用精密程控電壓源和精密電容器輸出高準(zhǔn)確度靜態(tài)電荷量,利用電壓負反饋進行自動調(diào)整,克服負載電容和輸出電壓對輸出電荷量的影響,實現(xiàn)靜態(tài)電荷量的穩(wěn)恒輸出,可方便地檢定靜電計和電荷放大器。該靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)電荷源的穩(wěn)恒特性比傳統(tǒng)的電荷源提高了5個數(shù)量級。該標(biāo)準(zhǔn)源靜態(tài)電荷量Qx范圍為200pC～2μC;允許誤差為0.1%Qx+0.1pC;等效源內(nèi)電容為10-15F。