微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)間接校準(zhǔn)方法的探究

施玉書(shū)1,2,高思田2,宋小平2,郭鑫3,陳思文1,皮磊2,李偉2,李琪2,李適2,王興旺2
1.天津大學(xué) 精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室, 天津 300072
2.中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院, 北京 100029
3.中國(guó)計(jì)量大學(xué) 計(jì)量測(cè)試工程學(xué)院, 浙江 杭州 310018
摘要 針對(duì)微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的高精度性能指標(biāo)無(wú)法精確校準(zhǔn)的問(wèn)題,提出了一種間接校準(zhǔn)的方案。使用量塊及標(biāo)準(zhǔn)球板校準(zhǔn)微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的尺寸測(cè)量示值誤差,用標(biāo)準(zhǔn)球校準(zhǔn)儀器的探測(cè)誤差。并對(duì)中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院的微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行了校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該儀器的尺寸測(cè)量示值誤小于0.2 μm,探測(cè)誤差僅為0.125 μm,校準(zhǔn)結(jié)果均優(yōu)于儀器的最大允許誤差,驗(yàn)證了校準(zhǔn)方案的合理可行性。