新型一等移相量塊干涉儀的研制

張旭東1,劉香斌1,王世婕2,王振華2,吳月艷1
1.中國計量科學研究院,  北京 100029
2.內蒙古自治區計量測試研究院,  內蒙古 呼和浩特 010000
摘要 研制了一臺用于0.5～100 mm量塊測量的新型移相量塊干涉儀,分別以波長為633 nm和543 nm的兩臺穩頻激光器作為測量光源,通過一根單模光纖引入到干涉儀內。高精密移相器實現5步移相干涉測量,CCD相機采集干涉條紋并計算干涉條紋小數,被測量塊長度采用多波長的小數重合法計算。移相量塊干涉儀的測量不確定度達到U=0.015 μm+0.07×10^-6L(L為量塊長度,mm)。

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