新型一等移相量塊干涉儀的研制

張旭東1,劉香斌1,王世婕2,王振華2,吳月艷1
1.中國計(jì)量科學(xué)研究院,  北京 100029
2.內(nèi)蒙古自治區(qū)計(jì)量測試研究院,  內(nèi)蒙古 呼和浩特 010000
摘要 研制了一臺用于0.5～100 mm量塊測量的新型移相量塊干涉儀,分別以波長為633 nm和543 nm的兩臺穩(wěn)頻激光器作為測量光源,通過一根單模光纖引入到干涉儀內(nèi)。高精密移相器實(shí)現(xiàn)5步移相干涉測量,CCD相機(jī)采集干涉條紋并計(jì)算干涉條紋小數(shù),被測量塊長度采用多波長的小數(shù)重合法計(jì)算。移相量塊干涉儀的測量不確定度達(dá)到U=0.015 μm+0.07×10^-6L(L為量塊長度,mm)。

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