1MΩ-100GΩ高值電阻器高精度的校準方法

作　　者：王一幫[1] 鄭世棋[1] 梁法國[1] 喬玉娥[1] 劉霞美
機構地區(qū)：[1]中國電子科技集團公司第十三研究所,河北石家莊050051
摘　　要：高阻計、數(shù)字源表等儀器在半導體行業(yè)有著廣泛的應用. 但目前市場上1MΩ-100GΩ高值電阻器準確度（±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2）無法滿足高阻計、數(shù)字源表等儀器電阻參數(shù)的溯源需求. 本文提出了一種高精度的高值電阻器的校準方法,該方法由兩個多功能校準源和指零儀組成的比較電橋實現(xiàn). 根據(jù)校準方法組建了1MΩ-100GΩ測量系統(tǒng),測量結果的不確定度為3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可滿足市場上絕大部分高阻測量儀器的校準需求.

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說提出有點不合適吧，雙源電橋原理好早就有了。。。