中科院電工所等單位研發(fā)可溯源計(jì)量型掃描電子顯微鏡

可溯源計(jì)量型掃描電子顯微鏡                               　　1um二氧化硅微球成像圖

近日，中科院電工所聯(lián)合中國(guó)計(jì)量科學(xué)院、國(guó)家納米科學(xué)技術(shù)中心共同研制成功國(guó)內(nèi)首套可溯源計(jì)量型掃描電子顯微鏡。

中科院電工所在高分辨力場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的基礎(chǔ)上，加裝激光干涉儀測(cè)距的納米級(jí)高精度位移臺(tái), 并提出了采用步進(jìn)掃描代替?zhèn)鹘y(tǒng)電子束掃描的圖像獲取新方法。該方法可直接關(guān)聯(lián)圖像掃描與激光干涉儀的位置測(cè)量，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品納米結(jié)構(gòu)掃描成像的量值溯源，有效減少電子束掃描成像過(guò)程中放大倍率波動(dòng)和掃描線圈非線性特征在納米尺度測(cè)量中產(chǎn)生的誤差，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品納米結(jié)構(gòu)的溯源測(cè)量。

相關(guān)專家表示，該設(shè)備的研制成功，將對(duì)我國(guó)納米尺度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的制定、掃描電子顯微鏡及其他納米尺寸測(cè)量?jī)x器的校準(zhǔn)、納米標(biāo)樣和標(biāo)物的校準(zhǔn)、參與國(guó)際長(zhǎng)度比對(duì)等起到重要作用。中國(guó)科學(xué)報(bào)