高精度電容式位移傳感器校準方法的研究

鄭志月1,施玉書2,3,高思田2,李東升1,李偉2,李適2,李慶賢4
1.中國計量學院 計量測試工程學院, 浙江  杭州 310018;
2.中國計量科學研究院, 北京 100029;
3.天津大學 精密測試技術及儀器國家重點實驗室, 天津 300072;
4.蘇州市計量測試研究所, 江蘇 蘇州 215128

摘要 介紹一種使用激光干涉儀結合單軸精密位移臺對電容式位移傳感器進行校準的方法。建立了一套高精度電容式位移傳感器校準裝置,利用單軸精密位移臺位移與電壓之間的關系產生納米級的微小位移,同時使用激光干涉儀和待校準電容式位移傳感器測量單軸精密位移臺的微小位移。該裝置可實現電容式位移傳感器線性度、測量重復性以及測量分辨率的校準。實驗驗證了此校準方法的準確性和實用性,對影響校準的主要因素進行了分析,其綜合不確定度為2.2 nm。

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