高精度電容式位移傳感器校準(zhǔn)方法的研究

鄭志月1,施玉書(shū)2,3,高思田2,李東升1,李偉2,李適2,李慶賢4
1.中國(guó)計(jì)量學(xué)院 計(jì)量測(cè)試工程學(xué)院, 浙江  杭州 310018;
2.中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院, 北京 100029;
3.天津大學(xué) 精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室, 天津 300072;
4.蘇州市計(jì)量測(cè)試研究所, 江蘇 蘇州 215128

摘要 介紹一種使用激光干涉儀結(jié)合單軸精密位移臺(tái)對(duì)電容式位移傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)的方法。建立了一套高精度電容式位移傳感器校準(zhǔn)裝置,利用單軸精密位移臺(tái)位移與電壓之間的關(guān)系產(chǎn)生納米級(jí)的微小位移,同時(shí)使用激光干涉儀和待校準(zhǔn)電容式位移傳感器測(cè)量單軸精密位移臺(tái)的微小位移。該裝置可實(shí)現(xiàn)電容式位移傳感器線性度、測(cè)量重復(fù)性以及測(cè)量分辨率的校準(zhǔn)。實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了此校準(zhǔn)方法的準(zhǔn)確性和實(shí)用性,對(duì)影響校準(zhǔn)的主要因素進(jìn)行了分析,其綜合不確定度為2.2 nm。

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