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ASTM F 1238-1995 微電子設備用耐熔硅化物濺射電極

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兌水 發表于 2009-11-30 10:11:34 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
F1238-95(2003) Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications

ASTM F 1238-1995.pdf

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